1. Dyddodiad
Y cam cyntaf wrth weithgynhyrchu sglodyn fel arfer yw adneuo ffilm denau o ddeunydd ar y wafer. Gall y deunydd fod yn ddargludydd, ynysydd, neu lled-ddargludydd.
2, cotio ffotoresist
Cyn ffotolithograffeg, y deunydd ffotosensitif" ffotoresist" neu" ffotoresist" wedi'i orchuddio gyntaf ar y wafer, ac yna rhoddir y wafer yn y peiriant lithograffeg.
3. Amlygiad
Gwnewch y glasbrintiau patrwm y mae angen eu hargraffu ar y reticle. Ar ôl i'r wafer gael ei roi yn y peiriant lithograffeg, mae'r trawst golau yn cael ei daflunio ar y wafer trwy'r reticle. Mae'r elfennau optegol yn y peiriant lithograffeg yn crebachu ac yn canolbwyntio'r patrwm ar y cotio ffotoresist. O dan arbelydru'r trawst golau, mae'r ffotoresist yn cael adwaith cemegol, ac felly mae'r patrwm ar y ffotomask wedi'i imprinio ar y gorchudd ffotoresist.
4. Lithograffeg gyfrifiadol
Gall yr effeithiau ffisegol a chemegol a gynhyrchir yn ystod ffotolithograffeg achosi dadffurfiad patrwm, felly mae angen addasu'r patrwm ar y reticle ymlaen llaw er mwyn sicrhau cywirdeb y patrwm ffotolithograffeg terfynol. Mae ASML yn integreiddio data lithograffeg a data profion wafer presennol i greu modelau algorithm ac addasu patrymau yn union.
5. Pobi a datblygu
Ar ôl i'r wafer adael y peiriant lithograffeg, rhaid ei bobi a'i ddatblygu i wneud y patrwm lithograffeg yn sefydlog yn barhaol. Golchwch y ffotoresist gormodol i ffwrdd, gan adael rhan wag o'r cotio.
6, ysgythriad
Ar ôl i'r datblygiad gael ei gwblhau, defnyddiwch nwy a deunyddiau eraill i gael gwared ar y rhannau gwag gormodol i ffurfio patrwm cylched 3D.
7, mesur ac arolygu
Yn ystod y broses gynhyrchu sglodion, mae'r wafferi bob amser yn cael eu mesur a'u harchwilio i sicrhau nad oes unrhyw wallau. Mae canlyniadau'r arolygiad yn cael eu bwydo yn ôl i'r system lithograffeg i optimeiddio ac addasu'r offer ymhellach.
8. Mewnblannu ïon
Cyn cael gwared ar y ffotoresist sy'n weddill, gellir peledu'r wafer ag ïonau positif neu negyddol i addasu nodweddion lled-ddargludyddion rhan o'r patrwm.
9. Ailadroddwch gamau'r broses yn ôl yr angen
O ddyddodiad ffilm i dynnu ffotoresist, mae'r broses gyfan yn gorchuddio'r wafer gyda phatrwm. Er mwyn ffurfio cylched integredig ar wafer i gwblhau cynhyrchu sglodion, mae angen ailadrodd y broses hon yn barhaus, hyd at 100 gwaith.
10, sglodyn wedi'i becynnu
Y cam olaf yw torri'r wafer i gael un sglodyn, sydd wedi'i becynnu mewn achos amddiffynnol. Yn y modd hwn, gellir defnyddio'r sglodyn gorffenedig i gynhyrchu setiau teledu, tabledi neu ddyfeisiau digidol eraill!
Os ydych chi'n rhan annatod o'n cynnyrch, ewch iwww.hkram.comtohavemoreinformation.