Fel offer craidd y diwydiant syrcas integredig, mae rhai pobl yn galw'r peiriant lithograffi "y peiriant mwyaf soffistigedig a chymhleth am ryw fath". Fel yr offer pwysicaf mewn gweithgynhyrchu sglodion, gelwir y peiriant lithograffi hefyd yn "beiriant amlygiad" fel yr offer craidd ar gyfer gweithgynhyrchu sglodion. Un. Mae'r peiriant lithograffi yn ddyfais sy'n defnyddio laser esgusodi tonnau uwchfioled i dynnu'r ffilm amddiffynnol ar arwyneb y tonnau drwy dempled, ac yna'n amsugno'r waffer mewn asiant cyrydol. Mae'r rhan sy'n colli'r ffilm amddiffynnol wedi'i rhoi i ffwrdd i ffurfio cylched.
Y peiriant lithograffi a ddefnyddir yn gyffredin yw lithograffi alinio masg, ac mae'r broses lithograffi gyffredinol yn cynnwys glanhau a sychu wyneb y tonnau silicon, gorchuddio gwaelod, ffotoresist cotiau sbin, pobi meddal, amlygiad aliniad, ôl-bobi, datblygu, Pobi caled, ysgythru a phrosesau eraill. Mae ansawdd y peiriant lithograffi yn pennu'n uniongyrchol pa lefel o sglodion proses y gellir eu cynhyrchu, sy'n dangos ei bwysigrwydd.
Ac eleni, mae Apple, Samsung a Huawei yn paratoi i ddatblygu sglodion ffôn symudol 5nm newydd. Nawr, p'un a yw'n A14 Apple, snapdragon 888 chip Qualcomm, neu Samsung Exynos 1080, Kirin 9000, ac ati, i gyd yn cynrychioli lefel uchaf y diwydiant o sglodion 5nm. Ym maes 5G a symudol, gellir gweld bod gwahanol weithgynhyrchwyr yn paratoi. Ymddengys bod sglodion 5m yn cyrraedd eu terfynau, ond yn y dyfodol bydd sglodion yn parhau i wella ac uwchraddio, ac mae hyd yn oed mwy o ddatblygiadau technolegol yn anhysbys o hyd, a rhaid i'r peiriant lithograffi chwarae rôl. Rôl anhepgor a phwysig.
Fel un o'r offer manwl mwyaf cymhleth yn y byd, mewn gwirionedd, yn ogystal â chynhyrchu sglodion, mae lithograffi hefyd ar gyfer pecynnu neu lithograffi rhagamcanu ar gyfer gweithgynhyrchu LED. Ar hyn o bryd, mae peiriannau lithograffi pen uchel fy ngwlad yn cael eu mewnforio'n sylfaenol o ASML yr Iseldiroedd. Yn wir, ni waeth ym maes gweithgynhyrchu neu ddylunio sglodion pen uchel, mae'r gwasanaeth un stop o ddylunio a gweithgynhyrchu sglodion wedi'i foneddigaidd gan wledydd y Gorllewin. Mae'r diwydiannau hyn yn fy ngwlad yn cael eu rheoli gan eraill ar hyn o bryd.
Patrwm byd-eang o beiriant lithograffi
Ar hyn o bryd, prif weithgynhyrchwyr peiriannau lithograffi byd-eang yw: ASML, Nikon, Canon, Otech, Offer Microelectroneg Shanghai, SUSS, ABM, Inc.. Gellir rhannu peiriannau lithograffi tafluniad pen uchel yn ddau fath: amcanestyniad cam a sganio peiriannau lithograffi'r amcanestyniad. Mae'r penderfyniad fel arfer rhwng saith nanometers a sawl microfesurydd. Gelwir peiriannau lithograffi pen uchel yn offerynnau mwyaf manwl yn y byd. Mae 1.2 Peiriant lithograffi gwerth un biliwn o ddoleri.
Gellir galw'r peiriant lithograffi pen uchel yn flodyn y diwydiant optegol modern, ac mae ei weithgynhyrchu mor anodd fel mai dim ond ychydig o gwmnïau yn y byd sy'n gallu ei weithgynhyrchu. Dyma'r tri phrif frand o frandiau tramor yn bennaf: ASML o'r Iseldiroedd, Nikon o Japan a Canon o Japan.
Cyn hyn, dywedodd llywydd ASML, prif wneuthurwr peiriannau lithograffi byd-eang, hyd yn oed pe bai'r darluniau'n cael eu cyhoeddi, na fyddem byth yn gallu dynwared peiriannau lithograffi uchaf.
Yn wir, mae gan ASML gyfran o 90% o'r farchnad yng nghynnyrch tebyg y byd, a bron i 100% o gyfran y farchnad islaw'r cwgn 10nm, bron yn monopoli ar y craidd gweithgynhyrchu sglodion pen uchel byd-eang. Ac mae elw eu cwmni wedi cyrraedd 2-3 biliwn ewro yn ystod y blynyddoedd diwethaf. Yn y bôn, nid yw cystadleuwyr eraill yn yr un diwydiant wedi gallu dal i fyny, ac mae hyd yn oed yr Unol Daleithiau y tu hwnt i'r cyrhaeddiad.
Gyda'r sancsiynau a gwaharddiadau gwerthu a osodir gan yr Unol Daleithiau, yr unig ffordd allan ar gyfer peiriant lithograffi fy ngwlad yw ymchwil a datblygu annibynnol. Er y gall ASML gynnal ei brif sefyllfa ym maes technoleg a'r farchnad, gyda datblygiadau technolegol yn y dyfodol, datblygiadau technolegol arloesol a datblygiadau arloesol, bydd y bylchau hyn yn cael eu lleihau'n gyflymach.
Ar hyn o bryd, mae'r sianeli cadwyn gyflenwi sglodion uchel domestig wedi'u cyfyngu'n ddifrifol gan wledydd tramor. Sut i fynd drwy'r ymchwil a datblygu a gweithgynhyrchu o'r radd flaenaf drwy ymchwil a datblygu annibynnol yw'r broblem fwyaf ar hyn o bryd.