Yn y gadwyn diwydiant lled-ddargludyddion gyfan, prosesu a gweithgynhyrchu yw un o'r cysylltiadau pwysicaf. Gyda marchnad mor enfawr, mae offer proses lled-ddargludyddion yn darparu sylfaen gweithgynhyrchu ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion ar raddfa fawr. Bydd y papur hwn yn canolbwyntio ar beth yw'r prif offer yn y broses gynhyrchu lled-ddargludyddion.
1, ffwrnais grisial sengl
Swyddogaeth offer: toddi deunyddiau lled-ddargludyddion, tynnu grisial sengl, ar gyfer gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion dilynol, darparu biled lled-ddargludyddion crisial sengl.
Prif frandiau rhyngwladol: PVA TePla AG (Yr Almaen), Ferrotec (Japan), DYLUNIO QUANTUM (UDA), Gero (yr Almaen), KAYEX (UDA).
Prif frandiau domestig: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' an Huade, The 48th Institute o Grŵp Technoleg Electroneg Tsieina, Magnetig Thermol Shanghai Shenhe.
2. Ffwrnais epitaxial cyfnod nwy
Swyddogaeth offer: darparu amgylchedd proses penodol ar gyfer twf epitaxial cyfnod nwy, gwireddu twf crisialau haen denau gyda pherthynas gyfatebol â chyfnod grisial grisial sengl ar y grisial sengl, a gwneud paratoad sylfaenol ar gyfer gwireddu swyddogaethol suddo grisial sengl. Mae epitaxy cyfnod nwy yn broses arbennig o ddyddodiad anwedd cemegol, lle mae strwythur grisial yr haen denau twf yn barhad o'r swbstrad grisial sengl ac yn cyfateb i gyfeiriadedd grisial y swbstrad.
Prif frandiau rhyngwladol: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Deunyddiau Cymhwysol.
Prif frandiau domestig: Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 48ain Sefydliad, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co, LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co, LTD.
3. System epitaxy trawst moleciwlaidd
Swyddogaethau offer: System epitaxy trawst moleciwlaidd, sy'n darparu'r offer proses i dyfu'r ffilm ar yr wyneb gwaelod yn ôl y penodol; Mae epitaxy trawst moleciwlaidd (MBEA) yn dechneg ar gyfer paratoi ffilmiau tenau crisial sengl. Fe'i defnyddir i dyfu ffilmiau tenau fesul haen ar hyd echel grisial y swbstrad o dan swbstrad priodol ac amodau addas.
Prif frandiau rhyngwladol: Riber (Ffrainc), Veeco (UDA), DCA Instruments (Y Ffindir), SVTAssociates (UDA), NBM (UDA), Omicron (yr Almaen), MBE-Komponenten (yr Almaen), Oxford Applied (UK) Research (OAR ) cwmni.
Prif frandiau domestig: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co, LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Ffwrnais ocsidiad (VDF)
Swyddogaeth offer: Ar gyfer triniaeth ocsideiddio deunydd lled-ddargludyddion, darparwch yr awyrgylch ocsideiddio gofynnol, er mwyn cyflawni'r dyluniad disgwyliedig o broses trin ocsidiad lled-ddargludyddion, mae'n gyswllt anhepgor yn y broses brosesu lled-ddargludyddion.
Brandiau rhyngwladol mawr: UK Thermco Company, yr Almaen cwmni Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG.
Prif frandiau domestig: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 48ain sefydliad, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co, LTD., Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 45fed Sefydliad.
5. System Dyddodi Anwedd Cemegol pwysedd isel (LPCVD)
Swyddogaeth offer: Mae'r anwedd sy'n cynnwys yr asiant adweithio nwyol neu hylif sy'n cynnwys elfennau'r ffilm a nwyon eraill sy'n ofynnol ar gyfer yr adwaith yn cael eu cyflwyno i siambr adweithio offer LPCVD, a chynhyrchir y ffilm trwy adwaith cemegol ar wyneb y swbstrad. .
Brandiau rhyngwladol mawr: Hitachi International Electric Company,
Prif frandiau domestig: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 48ain Sefydliad, Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 45fed Sefydliad, Ffatri Offerynnau Beijing, Ffatri Peiriannau Shanghai.
6. System Dyddodi Anwedd Cemegol Uwch Plasma (PECVD)
Swyddogaeth offer: defnyddio gollyngiad tywynnu yn y siambr ddyddodi, ei wneud yn ïoneiddio a chynnal adwaith cemegol ar y swbstrad i adneuo deunydd ffilm denau lled-ddargludyddion.
Prif frandiau rhyngwladol: Proto Flex (UDA), Tokki (Japan), Shimadsu (Japan), Lam Research (UDA), ASM International (Yr Iseldiroedd).
Prif frandiau domestig: Sefydliad 45ain Grŵp Technoleg Electroneg Tsieina, ffatri Offerynnau Beijing, Ffatri Peiriannau Shanghai.
7. Tabl Sputtering Magnetron (MSA)
Swyddogaethau offer: trwy faes magnetig caeedig sy'n gyfochrog â'r arwyneb targed yn y sputtering deubegwn, a'r maes electromagnetig orthogonal a ffurfiwyd ar yr wyneb targed, mae'r electron eilaidd wedi'i rwymo i ardal benodol yr arwyneb targed, i gyflawni dwysedd ïon uchel ac uchel ïoneiddio egni, ac mae'r atomau neu'r moleciwlau targed yn cael eu dyddodi ar y swbstrad gyda sputtering cyfradd uchel i ffurfio ffilm.
Brandiau rhyngwladol mawr: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, cwmni Platit, cwmni Balzers a chwmni Cemecon.
Prif frandiau domestig: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 48ain Sefydliad, Kerui Equipment Co., LTD., Ffatri Peiriannau Shanghai.
8. Peiriant sgleinio mecanyddol cemegol (CMP)
Swyddogaeth offer: trwy'r malu mecanyddol a diddymiad hylif cemegol" cyrydiad" o'r effaith gyfun, i'w sgleinio (lled-ddargludyddion).
Prif frandiau rhyngwladol: Deunyddiau Cymhwysol, Norfa Systems, Rtec.
Prif frandiau domestig: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co, LTD., Alite Microelectronics.
9, peiriant lithograffeg
Swyddogaeth ddyfais: gludwch yn gyfartal ar wyneb swbstrad lled-ddargludyddion (wafer silicon), trosglwyddwch y patrwm ar y mwgwd i ffotoresist, a quot&dros dro; copi" y ddyfais neu'r strwythur cylched i'r wafer silicon.
Prif frandiau rhyngwladol: ASML (Yr Iseldiroedd), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Prif frandiau domestig: Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 48ain Sefydliad, Sefydliad 45ain Grŵp Technoleg Electroneg Tsieina, Ffatri Peiriannau Shanghai, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. System Ysgythriad Ion Adweithiol (RIE)
Swyddogaethau offer: cymhwysir y foltedd amledd uchel rhwng yr electrodau plât i gynhyrchu haen ïon gannoedd o ficronau, a rhoddir patrwm effaith cyflym ïon yn y patrwm, i gyflawni ysgythriad adwaith cemegol ac effaith gorfforol, ac i gyflawni prosesu lled-ddargludyddion. a mowldio.
Brandiau rhyngwladol mawr: Japan Evatech Company, cwmni NANOMASTER yr Unol Daleithiau, Cwmni REC Singapore, cwmni JuSung De Korea, Cwmni TES De Korea.
Prif frandiau domestig: Ffatri Offerynnau Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Grŵp Technoleg Electroneg Tsieina Tsieina yn wythfed wythfed Sefydliad.
11. System ysgythru plasma ICP
Swyddogaethau offer: un neu fwy o atomau neu foleciwlau nwy wedi'u cymysgu yn y siambr adweithio, o dan weithred ynni allanol (megis amledd radio, microdon, ac ati) i ffurfio plasma, ar y naill law, y grŵp gweithredol yn y plasma a y deunydd wyneb i fod yn adwaith cemegol ysgythrog, gan gynhyrchu cynhyrchion cyfnewidiol; Ar y llaw arall, mae'r ïonau yn y plasma yn cael eu tywys a'u cyflymu o dan weithred pwysau rhagfarn i wireddu cyrydiad cyfeiriadol a chorydiad carlam yr arwyneb ysgythrog.
Prif frandiau rhyngwladol: Oxford Instruments (UK), Torr (UDA), Gatan (UDA), Quorum (UK), Leeman (UDA), Pelco (UDA).
Prif frandiau domestig: Ffatri Offerynnau Beijing, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co, Ltd, Sefydliad Technoleg Electronig 48ain Sefydliad China, Technoleg Goder ion (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Sefydliad Microelectroneg, Academi Gwyddorau Tsieineaidd, Gogledd Microelectroneg , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, ysgythriad gwlyb a pheiriant glanhau
Swyddogaeth offer: Ysgythriad gwlyb yw'r deunydd ysgythru wedi'i socian mewn toddiant ysgythru ar gyfer technoleg cyrydiad. Glanhau yw lleihau halogiad, a all effeithio ar berfformiad dyfeisiau, arwain at broblemau dibynadwyedd, a lleihau'r cynnyrch, sy'n gofyn am lanhau trylwyr cyn pob haen o'r broses nesaf neu cyn yr haen nesaf.
Brandiau rhyngwladol mawr: Screen (Japan), SEMES (Korea), Tokyo Electron (Japan), Lam Research (America).
Prif frandiau domestig: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co, LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co, LTD., Sefydliad Technoleg Electroneg Tsieina 45fed Sefydliad, Taiwan Hongsu.
13. Peiriant mewnblannu ïon (IBI)
Swyddogaeth offer: docio'r ardal ger wyneb y lled-ddargludydd.
Prif frandiau rhyngwladol: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. a Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (a gafwyd gan AMAT).
Prif frandiau domestig: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, mainc prawf stiliwr
Swyddogaeth y ddyfais: Trwy'r cyswllt stiliwr â pad y ddyfais lled-ddargludyddion, cynhelir prawf trydanol i wirio a yw mynegai perfformiad y lled-ddargludydd yn cwrdd â'r gofynion perfformiad dylunio.
Brandiau rhyngwladol mawr: cwmni Ingun yr Almaen, cwmni QA, cwmni MicroXact, cwmni Ecopia, cwmni Leeno.
Prif frandiau domestig: Sefydliad 45ain Grŵp Technoleg Electroneg Tsieina, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co, LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Peiriant teneuo wafer
Swyddogaeth: lleihau trwch y wafer trwy sgleinio.
Prif frandiau rhyngwladol: Cwmni DISCO Japan, yr Almaen G& cwmni N, cwmni Japan OKAMOTO, cwmni Israel Camtek.
Prif frandiau domestig: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Grinding Equipment Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technoleg Co, LTD.
16. Peiriant Ysgrifennu Wafer (DS)
Swyddogaeth ddyfais: Y wafer, wedi'i dorri'n ddarnau bach o Die.
Brandiau rhyngwladol mawr: cwmni OEG o'r Almaen, Cwmni DISCO Japan.
Prif frandiau domestig: Mae gan grŵp technoleg electroneg Tsieina, Beijing kechuang trwy gychwyn technoleg ffotodrydanol ffynhonnell co., LTD., Sefydliad technoleg offeryniaeth shenyang, cwmni peiriant y gogledd-orllewin, LTD., (Ffatri 709) ffatri beiriannau'r gogledd-orllewin, hui sheng electronig. cwmni peiriannau ac offer electronig, lanzhou: laser, cwmni diwydiant uwch-dechnoleg, LTD., offer laser ruby shenzhen co., LTD., gweithiwr Wu Hansan, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Bonder Gwifren
Swyddogaeth ddyfais: Cysylltwch y Pad ar y sglodyn lled-ddargludyddion gyda'r Pad ar y pin gyda'r wifren fetel dargludol (gwifren aur).
Brandiau rhyngwladol mawr: American Ottey, TPT Almaeneg, Awstria FK, Malaysia UNISEM.
Prif frandiau domestig: Sefydliad Technoleg Electroneg China 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integredig Packaging and Testing Co., LTD. (Buddsoddiad Malaysia Yunisan), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co, LTD.